真空泵市场及应用领域的变化和发展(三)
时间:2016-12-26 20:19:24 来源: 阅读量:97012
5、分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。
6、干泵
国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国产干泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,我国应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。
厦门太星真空泵维修,厦门太星专业的真空行业,销售真空泵、分子泵、检漏仪、罗茨泵、涡旋泵、真空泵油、真空泵配件、真空泵滤芯等以及真空泵维修、分子泵维修、检漏仪维修、隔膜泵维修、冷冻式干燥机维修、柱塞泵维修、罗茨泵维修、滑阀泵维修保养等相关机械设备维修,咨询网址:www.xiamenbest.com,电话:0592-6800154,邮箱:Mike@xiamenbest.com,
上一条 ·鱼疗馆装修、商洛亲亲鱼疗馆加盟15180407981 2016-12-26 20:18:33
下一条 ·规格尺寸大全 API美标无缝钢管 2016-12-26 20:19:25
同类资讯推荐
最新资讯
-
陇南塑料复合托盘厂家电话 2024.04.26
-
湖南微型带座轴承批发 2024.04.26
-
汕尾交通肇事罪辩护律所起诉时间 2024.04.26
-
银川循环泵厂家 2024.04.26
-
辽宁短视频账号代运营服务 2024.04.26
-
江门校园餐厅承包联系电话 2024.04.27
-
灞桥盒饭食堂餐饮管理找哪家 2024.04.27
-
石嘴山创意展厅研究所 2024.04.27
-
汕尾职业高中技术学校什么专业好 2024.04.27
-
龙华路基箱租售价格 2024.04.27
-
成都贴面玻璃棉卷毡生产商 2024.04.27
-
北京seo工具哪里找 2024.04.27
关于我们| 法律声明| 意见建议| 联系我们| 书生技术开发
联系热线: 15345921929 平台商务合作: 2810881989
邮箱: 2810881989@qq.com
手机书生商务网:http://m.booksir.com.cn
书生官方微博:新浪、腾讯